Масс-спектрометрический комплекс МКМ-10


Масс-спектрометрический комплекс МКМ-10

Масс-спектрометрический комплекс МКМ-10
ОСОБЕННОСТИ:
  • повышенная производительность
  • наиболее точный метод определение влаги в подкорпусном пространстве микросхем и др. ЭРИ.
  • минимум фонового уровня от процесса десорбции влаги и примесей с поверхности образца перед вскрытием разрушающим методом исследования
  • количественный анализ до 400 компонентов в одном цикле измерения за 2,4 сек
  • работает в режиме реального времени (on-line)
НАЗНАЧЕНИЕ:
  • контроль содержания влаги в герметичных корпусах приборов микроэлектроники и устройств физической электроники при разработке микросхем
  • анализ газового состава атмосферы внутри стандартных герметичных устройств, стеклянных ампул, баллонов, модульных сборок и, в том числе, проверки их на герметичность
  • контроль всех микропримесей, содержащихся в конструкционных элементах
  • проведение идентификации и определение присутствующих органических веществ, химически активных радикалов и продуктов газовыделения в подкорпусном пространстве ИС и модульных изделий.
  • адаптирован для промышленных производств

Масс-спектрометрический комплекс МКМ-10 является модификацией МКМ-1 с повышенной производительностью.

Оборудование позволяет определять пары воды в подкорпусном пространстве 25-30 микросхем за смену.

Масс-спектрометрический комплекс МКМ-10 предназначен экспертизы разрушающим методом для промышленных производств разработки микросхем, интегральных схем и других ЭРИ


Последние публикации