Масс-спектрометрический комплекс МКМ-1

Масс-спектрометрический комплекс МКМ-1

Масс-спектрометрический комплекс МКМ-1


спектр
тех.хар MKM1
ОСОБЕННОСТИ ПРИБОРА:
  • наиболее точный метод определение влаги в подкорпусном пространстве микросхем при контроле качества микросхем и других  ЭРИ
  • минимум фонового уровня от процесса десорбции влаги и примесей с поверхности образца перед вскрытием
  • количественный анализ до 400 компонентов в одном цикле измерения за 2,4 сек
  • работает в режиме реального времени (on-line)
НАЗНАЧЕНИЕ ПРИБОРА:
  • контроль содержания влаги в герметичных корпусах приборов микроэлектроники и устройств физической электроники
  • анализ газового состава атмосферы внутри стандартных герметичных устройств, стеклянных ампул, баллонов, модульных сборок и, в том числе, проверки их на герметичность
  • контроль всех микропримесей, содержащихся в конструкционных элементах
  • проведение идентификации и определение присутствующих органических веществ, химически активных радикалов и продуктов газовыделения в подкорпусном пространстве ИС и модульных изделий.

Масс-спектрометрический комплекс МКМ-1 предназначен для прецизионного контроля состава атмосферы в подкорпусном пространстве микросхем (контроля качества), полупроводниковых приборов и других ЭРИ.  Масс-спектрометрический метод контроля герметичности является наиболее совершенным и широко применяемым в различных отраслях промышленности.

  • Полный цикл измерения МКМ-1 вне зависимости от размеров микросхемы составляет не более 1 часа.* Цикл включает в себя:
    1. Подготовку микросхемы при атмосферном давлении (дегазацию внешней поверхности микросхемы от паров воды).
    2. Загрузку микросхемы через шлюз камеры предварительной откачки с последующей откачкой до вакуума 1х10-6 мм.рт.ст.
    3. Перемещение микросхемы с помощью магнитного транспортёра в область высокого вакуума (1х10-8).
    4. Подогрев микросхемы ИК-излучением в течение 30 минут.
    5. Вскрытие (разгерметизацию) корпуса микросхемы в вакууме.
    6. Контроль качества: непосредственно анализ и определение концентрации паров воды, находившихся в подкорпусном пространстве ИС.
  • Точность измерения при дифференциальном методе составляет 0,1%об., при интегральном — 0,02%об.
  • Масс-спектрометрический комплекс МКМ-1 одновременно измеряет процентное содержание воды, азота, кислорода и аргона в атмосфере подкорпусного пространства микросхем.
  • Объём подкорпусного пространства микросхем от 0,2 мм3 до 50 см3.
  • Оборудование разрушающего контроля МКМ-1 поставляется в комплекте с методикой калибровки и поверки по микрокапсулам интегральным методом. Оператор может осуществлять калибровку или поверку прибора в любой момент, заправляя микрокапсулы воздухом известной влажности.** Время калибровки прибора 3-3,5 часа. Необходимая периодичность калибровки — раз в 4 месяца.
  • Опция: Применение прибора для проверки микросхем на микротечи (контроль ЭРИ)

Достоинствами масс-спектрометрического комплекса по сравнению с аналогами являются следующие качества:

  • Прибор не требует водяного охлаждения, азота, трёхфазной сети.
  • МКМ-1 может работать как независимый газоанализатор.
  • Работа с МКМ-1 не требует специальных навыков, так как он профилирован под задачу контроля качества и выполняет её в автоматическом режиме за исключением самой процедуры разгерметизации ИС, для выполнения которой нужно участие оператора.

Примечания:

* Минимизировать время измерения позволяет применение дифференциальной методики.

** Методика проведения измерений и режим работы прибора позволяют транспортировать пары воды из подкорпусного пространства микросхем в область ионизации масс-спектрометрического комплекса аналогично газовым компонентам, что позволяет вычислять процентный состав с помощью стандартных калибровок.

Диапазон измерения влажности, млн-1
100-11000
Минимальное значение контролируемой влажности газа, не более (пороговая чувствительность
определения концентрации паров воды в газовой смеси) (млн-1)
100
Относительное отклонение выходного сигнала анализатора, %, в счётном режиме:
в диапазоне от 200 до 1000 вкл.
20
в диапазоне свыше 1000 до 6000 вкл.
10
в диапазоне свыше 6000 до 11000 вкл.
20
Минимальное время однократного измерения по всем определяемым компонентам, с, не более
1
Время установления рабочего режима, ч
0.5
Размах показаний при измерении объемной доли компонентов за 24 ч непрерывной работы, %
0.25

Последние публикации