Масс-спектрометрический комплекс МКМ-10
ОСОБЕННОСТИ:
- повышенная производительность
- наиболее точный метод определение влаги в подкорпусном пространстве микросхем и др. ЭРИ.
- минимум фонового уровня от процесса десорбции влаги и примесей с поверхности образца перед вскрытием разрушающим методом исследования
- количественный анализ до 400 компонентов в одном цикле измерения за 2,4 сек
- работает в режиме реального времени (on-line)
НАЗНАЧЕНИЕ:
- контроль содержания влаги в герметичных корпусах приборов микроэлектроники и устройств физической электроники при разработке микросхем
- анализ газового состава атмосферы внутри стандартных герметичных устройств, стеклянных ампул, баллонов, модульных сборок и, в том числе, проверки их на герметичность
- контроль всех микропримесей, содержащихся в конструкционных элементах
- проведение идентификации и определение присутствующих органических веществ, химически активных радикалов и продуктов газовыделения в подкорпусном пространстве ИС и модульных изделий.
- адаптирован для промышленных производств
Масс-спектрометрический комплекс МКМ-10 является модификацией МКМ-1 с повышенной производительностью.
Оборудование позволяет определять пары воды в подкорпусном пространстве 25-30 микросхем за смену.
Масс-спектрометрический комплекс МКМ-10 предназначен экспертизы разрушающим методом для промышленных производств разработки микросхем, интегральных схем и других ЭРИ
Последние публикации
